在审计过程中，以下哪项程序主要用于获取有关被审计单位内部控制的审计证据？

根据教材原文，观察程序用于了解内部控制的运行情况，如实地观察被审计单位的存货盘点流程，因此属于获取内部控制证据的程序。其他选项中，检查和询问可能涉及不同目的，重新执行则通常用于测试内部控制有效性。